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Al2O3

≥85%

SiC

—

SiO2

≤13

Fe2O3

≤0.3%

體積密度 g/cm3

≥2.85

顯氣孔率

≤22%

常溫耐壓強(qiáng)度 MPa

≥80

熱震穩(wěn)定性次(1100℃水冷)

≥30

最高使用溫度

1750度

推板外形尺寸

340*340*30