參數(shù)

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)描述

結(jié)構(gòu)型式

臥式雙室內(nèi)加熱真空退火爐

均溫區(qū)尺寸（W×H×L)

600×600×3200mm

最大承載能力（冷態(tài),，含料架）

1000kg（單室）

極限真空度帶爐體

10^-4Pa（空爐,、冷態(tài)）

壓升率

≤0.67Pa/h

最高設(shè)計(jì)溫度

900℃

工作溫度

500～800℃

爐溫均勻性

±5度（采用6點(diǎn)控制，達(dá)到更好的爐溫均勻性）

控溫精度

±1度（集成化電路控制,，無超調(diào)現(xiàn)象）

測試溫區(qū)

6區(qū)

升溫速率

（真空,，室溫到800℃）

升降溫速率可調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍：≤10℃/min

加熱功率

200kW (380V-3-50Hz供電)

發(fā)熱元件及布置

高溫合金電阻加熱棒,，沿爐體長度方向排布

測溫元件

K型熱電偶,，測溫范圍0-1320℃

爐體結(jié)構(gòu)

采用了水冷爐體結(jié)構(gòu)

爐門開啟方式

側(cè)開；氣動鎖緊,，手動開閉

不銹鋼反射屏加熱室

不銹鋼310S和304多層金屬反射屏

加熱區(qū)

加熱區(qū)直徑1.1m,，長度3.5m

爐體外形尺寸（不含法蘭）

直徑1.6m ,長度4m